| 第一作者： | 周培林;于海波;赵增旭;焦念东;刘连庆 |
|---|---|
| 发表年度： | 2014 |
| 期： | 11 |
| 卷： | 44 |
| 页： | 1145-1153 |
| 摘要： | 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)具有极高的观测分辨率和作业精度,在纳米材料表征与纳米器件组装方面发挥了不可替代的作用.AFM工作区域的选取依赖于光学显微镜,受可见光波波长的限制,光学显微镜的分辨率一般不超过200 nm,这导致光学显微镜无法有效辨识AFM观测目标样本所在的区域.当样本被移动或者更换AFM扫描探针引起样本与探针针尖的相对位置发生变化时,如何重新将AFM探针精确定位到原观测/操作区域具有非常大的挑战性.本文研究提出了一种新的免标记探针重定位方法,综合考虑了样本角度旋转与位置偏移两个因素,首先利用光学显微镜选取样本基底上易于识别的自然特征作为参照... |
| 刊物名称： | 中国科学:技术科学 |
