10月21日，上海证券交易所科创板上市委员会召开了2019年第35次审议会议，根据审议结果显示，中国科学院沈阳自动化研究所投资参股企业——沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源公司”）首发获通过，是中国科学院第一家科创板首发获通过的公司。这意味着在不久的将来沈阳自动化所又一家投资参股企业将成为上市企业。

　　芯源公司成立于2002年，在17年的发展历程中，秉承“市场引领，技术为本”的宗旨，不断在半导体装备领域探索新的高度。目前，芯源公司拥有自主知识产权，取得300余项核心技术专利，其自主开发的单片匀胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、清洗机等设备，广泛应用于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域。研制的12英寸TRACK系统整机，已经在12寸主流生产线应用，拥有近百家业内客户，在LED匀胶显影设备领域占领国内市场份额超过60%。（科技处）