宗润福（左）在上海证券交易所“敲钟”留影。

　　■本报记者 沈春蕾 

　　日前，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称沈阳芯源）在上海证券交易所科创板首发上市，成为中国科学院第一家登陆科创板的院所投资企业，也是辽宁省科创板第一股。

　　“如今，市场上最新款的手机芯片，都有我们沈阳芯源生产设备的贡献，包括前置摄像头、指纹识别器件等。这些产品背后是技术多年的积淀。”沈阳芯源董事长兼总经理宗润福在上市仪式上发出这样的感叹：“沈阳芯源的上市之路可谓17年磨一剑。”

　　2002年，中国科学院沈阳自动化研究所（以下简称沈阳自动化所）发起成立沈阳芯源。此后，沈阳芯源专注于集成电路生产光刻工序的涂胶显影设备，并成功实现进口设备替代，目前设备销量超700台套。

　　那么，沈阳芯源是如何从一家初创企业成长为一家上市公司的？宗润福又是如何从科研人员变身为创客的？请随《中国科学报》一起来揭晓答案。

　　“不是偶然，绝非必然” 

　　“成功不是偶然，但也绝非必然。”宗润福告诉《中国科学报》，“中科院为沈阳芯源从创业到上市提供了大力支持。”

　　1988年，宗润福从哈尔滨工业大学硕士毕业后来到沈阳自动化所工作，被分配到鞍钢线材课题组。作为新生力量，宗润福在沈阳自动化所传帮带氛围的侵染中迅速成长，从助理研究员到研究员再到科技处处长。

　　回忆往事，历历在目。“如果没有于海川老师带领我们开展鞍钢线材项目，就不会有后来青岛钢厂项目的成功；受益于李芳臣老师的豁达诙谐，我慢慢会讲一些有幽默感的话；如果说蒋新松院士以才以威以远见服人，那么王天然院士则是以德聚人，对我们年轻后辈栽培呵护，不求全责备。”宗润福感叹自己在成长为创客的一路上都有“贵人相助”。

　　在沈阳自动化所，宗润福和小伙伴们一个接一个地做项目，但随之发现一些问题：“项目周期长，效率低，把科研人员给套牢了。”

　　当年，时任沈阳自动化所所长的蒋新松多次召开研讨会，探讨如何加快成果转化，并提出“一次开发、多次应用”的理念。作为所里的青年科研人员，宗润福在此基础上提出要“做乘法”，让科研人员到企业，将成果做成规范化和标准化的产品，适应不同领域和客户的需求。

　　随着沈阳芯源的成立，宗润福进一步发现，科研人员到企业后的最大转变是，要由技术专家转为产品和市场专家。“企业的着眼点不在于技术有多新、多么奇特，而在于技术的可靠和规范。”

　　白手起家，迈向市场 

　　2002年，集成电路（IC）装备行业大部分由国外企业所垄断，昂贵的价格给国内企业带来了巨大的负担。

　　公司成立之初，宗润福记得：“当时国内的IC装备行业没有基础，缺少产业供应链和客户，沈阳芯源成为开路先锋。我们从零开始，白手起家，自己承担了设计、采购、生产、制造和销售工作。”

　　时任沈阳自动化所副所长王小刚是沈阳芯源的首任董事长，在艰苦困难的创业初期，他一面承受着研究所内外的巨大压力，一面内引外联，推动地方政府、联合优势企业共建沈阳IC装备基地，并为沈阳自动化所和沈阳芯源争取到了国家重大专项的支持。

　　随着一项项技术难关的攻克，沈阳芯源在提升整机品质的同时，专注于核心部件的国产化，降低了产品造价与服务成本。2007年，沈阳芯源自主开发的首台先进封装领域用12英寸Track产品投入销售应用，实现了国产IC装备在晶片尺寸和新工艺上的重大突破。

　　在沈阳自动化所的推动下，2008年，沈阳芯源获批承担国家02重大科技专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目。2012年，沈阳芯源获批承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目。

　　国家02重大专项即“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目，因次序排在国家重大专项所列16个重大专项第二位，在行业内被称为“02专项”。

　　“国家重大科技专项的支持让公司发展走向正循环。”宗润福介绍道，通过成果产业化，沈阳芯源自主研制的高端封装新产品迈向市场。

　　沈阳自动化所所长于海斌曾表示：“当技术成熟到一定程度，市场需求较大，国家又有需求的时候，沈阳自动化所就会把技术变成产品推向市场。”在2000年前后，中科院沈阳自动化所孵化了近十家高新技术企业，包括在创业板上市的新松机器人和在新三板上市的中科博微和新松医疗等。

　　17年坚持，厚积薄发 

　　如今人们看到的是沈阳芯源上市的光环，殊不知这背后是17年的坚持以及在技术市场的厚积薄发。如今的宗润福已经褪去科研人员的稚嫩与青涩，他认为这归功于沈阳芯微17年磨一剑，聚焦半导体装备的研发制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨头。

　　“为什么在创业17年后才选择科创板上市？”面对记者的提问，宗润福解释道，半导体设备行业属于典型的技术密集型行业，行业技术门槛高，需要不断保持较高的研发投入水平，才能保证自身产品的技术优势或缩小与国际领先水平的差距。

　　基于多年的积累与沉淀，以及在沈阳自动化所的支持下，沈阳芯源的上市之路走得非常顺利。

　　据宗润福介绍，沈阳芯源自2019年7月12日向上海证券交易所提交申报稿获受理之后，历经两轮问询，10月21日通过审议。“从2019年10月28日，我们向中国证监会提交注册申请，到11月15日IPO注册生效，沈阳芯源仅用百余天的时间就完成了从申报到注册的所有流程。”

　　半导体设备行业对于专业人才尤其是研发人员的依赖程度较高，宗润福很早就意识到，核心技术人员是公司生存和发展的重要基石。为此，沈阳芯源在培养本土人才团队的同时，还走出去、请进来，引进行业高端人才。“当前，我们有来自美国、日本、韩国的全职专家和技术顾问近10人。”

　　集成电路是国家支柱性战略性产业，未来涂胶显影机和单片清洗机还将有巨大的市场空间。宗润福表示：“上市是沈阳芯源迈出的一大步，也是新的开始。”