机器人化超精密检测

研究基于智能精测仪器的机器人化精准测量技术，基于多模态近场传感，探索多物理场信号的精准感知、特征解析与高速调控方法，构建一体化智能感知与自主测量能力的新型仪器装备，不断寻求突破超精密检测的时空分辨力极限，赋能AI科学家机器人实现自主探索、智能推演与精准作业，推动精密工业检测、高端装备制造以及物质与生命科学探索等领域的技术进步。（研究方向负责人：于鹏，研究员，邮箱：yupeng@sia.cn）